(2024年8月1日)
CFO経営サポート本部長（経営サポート本部副本部長）取締役兼執行役員、松浦康晴
顧問（取締役兼執行役員専務兼CFO経営サポート本部長）村上克宏
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(2023年3月1日)
半導体プロセス装置管掌（ものづくり本部長）取締役兼執行役員常務、石田茂
製品・LCS本部半導体装置設計部長（製品設計部長）執行役員製品・LCS本部長、海津拓哉
ものづくり本部長（ものづくり本部副本部長）執行役員製造部長、土屋敬三
製品・LCS本部FPD/IJP装置設計部長（PE設計部長）製品・LCS本部副本部長、中山幸徳
製品・LCS本部本部担当部長、田村真一
ものづくり本部副本部長、品質保証部長、宮川知久
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(2021年10月1日)
ものづくり本部長、取締役兼執行役員常務、石田茂
ものづくり本部副本部長、執行役員調達部長、上田寛幸
ものづくり本部副本部長、執行役員製造部長、土屋敬三
内部監査室長（社長付）野沢貞雄
ものづくり本部業務部長（業務部長）高梨洋一
ものづくり本部品質保証部長（品質保証部長）宮川知久
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(2021年9月29日)
退任（取締役）宗岡恒雄
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