(2024年5月1日)
執行役員技術開発担当兼計測ラボラトリー長（先行開発ユニット長）柳沢浩一
執行役員製品開発担当兼SSユニット長（AEユニット長）依田元
プロダクト&マーケティング部長（グローバルビジネス開発担当）執行役員、ケネス・ソウ（Kenneth Soh）
事業推進部長（事業推進センター長）事業推進部長兼国際開発支援課長（事業推進センター長兼開発推進課長）高田正彦
SMユニット長（DBユニット長）酒井啓至
グローバルDX推進部長（最高情報責任者（CIO）付主幹）小林淳志
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(2023年10月1日)
執行役員グローバルビジネス開発担当（最高マーケティング責任者(CMO)付・グローバルビジネス開発担当主席）ケネス・ソウ
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(2023年10月1日)
執行役員国内営業部長（HIOKIEUROPE社長）渡辺学
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(2023年2月27日)
取締役、田村義晴
取締役、丸田由香里
取締役、馬渡修
常勤監査役、村田英典
顧問（常勤監査役）竹内繁弘
退任（取締役）田中茂
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