(2023年11月1日)
IR室長、高木純子
IR室グローバルヘッド（IR室長）八田浩一
コーポレート生産本部長補佐、立山清久
TEL Manufacturing and 　Engineering of America,Inc. 　Senior Executive 　Vice President TEL Technology Center, 　America, LLC 　Member of the Board（Corporate Innovation本部 副本部長）東京エレクトロン九州(株) 　執行役員 TEL Manufacturing and 　Engineering of America,Inc. 　Member of the Board 、北野淳一
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(2023年4月1日)
新潟支店長（鹿児島支店長）藤野修
岡山支店長（茨城支店長）中條太志
コマーシャルビジネス業務部長（海外事業企画部長席付特命部長Ｓｏｍｐｏ ＩｎｓｕｒａｎｃｅＳｉｎｇａｐｏｒｅ）菅原哲夫
海上保険部長（企業営業第七部長）中村隆久
業務改革推進部長（経営企画部 リーダー）菊地英樹
自動車営業推進部長（名古屋自動車開発部特命部長）田平秀幸
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(2021年4月1日)
マーケティング部長（リテール商品業務部特命部長）執行役員待遇、関口憲義
企業マーケット開発部長（関西企業営業部長）執行役員待遇、木田浩
執行役員待遇・ＤＸ推進部特命部長、村上明子
執行役員待遇、自動車開発第一部長、有本忍
執行役員待遇茨城支店長（京都支店長）中條太志
執行役員待遇西東京支店長（新潟支店長）松本康宏
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(2020年7月1日)
IR室長、八田浩一
情報セキュリティ室長、藤井俊郎
Certas戦略企画部長、執行役員ESBUGM、和久井勇
TFF事業企画部長、執行役員TFFBUGM、石田博之
CorporateInnovation本部デバイス技術企画部長（デバイス技術プロジェクトリーダー）山本知成
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ統括部長（Certas戦略企画部長）高橋伸幸
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