(2020年7月1日)

IR室長、 八田浩一 　>

情報セキュリティ室長、 藤井俊郎 　>

Certas戦略企画部長、執行役員ESBUGM、 和久井勇 　>

TFF事業企画部長、執行役員TFFBUGM、 石田博之 　>

CorporateInnovation本部デバイス技術企画部長（デバイス技術プロジェクトリーダー） 山本知成 　>

東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ統括部長（Certas戦略企画部長） 高橋伸幸 　>

TFF事業企画部担当部長（TFFマーケティング部長） 熊井寿和 　>

機構改革

(1)情報セキュリティ室を新設
(2)開発生産グループの知的財産部をGlobalBusinessPlatform統括本部に移管
(3)TFFマーケティング部をTFF事業企画部に改称
(4)CorporateInnovation本部のコーポレート技術マーケティング部、プロセスインテグレーションセンターをコーポレートR&D部、インテグレーションソリューション企画部に改称
(5)同本部にデバイス技術企画部を新設

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