(2023年7月1日)
後工程事業本部長（後工程事業本部副本部長）常務執行役員、秋山啓一
常務執行役員（執行役員）GlobalSales本部副本部長、神永文彦
常務執行役員（執行役員）GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務・、川本弘
人事総務ユニットGM、執行役員法務コンプライアンスユニットGM、阿曽達也
執行役員第二開発生産本部長、CorporateInnovation本部副本部長、神原弘光
執行役員、ES副BUGM、樋口公博
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(2020年7月1日)
IR室長、八田浩一
情報セキュリティ室長、藤井俊郎
Certas戦略企画部長、執行役員ESBUGM、和久井勇
TFF事業企画部長、執行役員TFFBUGM、石田博之
CorporateInnovation本部デバイス技術企画部長（デバイス技術プロジェクトリーダー）山本知成
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ統括部長（Certas戦略企画部長）高橋伸幸
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