(2023年4月1日)
DSS事業本部長（フィールドソリューション事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員GlobalSales本部長、大久保豪
DSSBUGM（FSBUGM）執行役員、石田寛
DSSBUGM（FPDBUGM兼ファインコーティングプロセス部長）帰山武郎
システムマーケティング部長、熊井寿和
SPEシステム部長（フィールドソリューション一部長）宇城満山
ディスプレイシステム部長（ドライプロセス部長）川野雅史
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(2020年7月1日)
IR室長、八田浩一
情報セキュリティ室長、藤井俊郎
Certas戦略企画部長、執行役員ESBUGM、和久井勇
TFF事業企画部長、執行役員TFFBUGM、石田博之
CorporateInnovation本部デバイス技術企画部長（デバイス技術プロジェクトリーダー）山本知成
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ統括部長（Certas戦略企画部長）高橋伸幸
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(2017年6月20日)
ＣＦＯ、代表取締役兼専務執行役員コーポレート管理本部長、堀哲朗
グローバル・フィールド本部リージョン戦略企画本部長、常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長大久保豪（７月１日）ファイナンス・リーガル・ＩＴ本部長（コーポレート管理本部長兼経営戦略・ＩＲ担当）代表取締役兼ＣＦＯ専務執行役員、堀哲朗
人事・総務本部長（同本部副本部長）取締役兼常務執行役員、長久保達也
ＥＨＳ・品質・調達部門担当兼調達・生産企画室長、取締役兼専務執行役員第二開発生産本部長、北山博文
Ｑ―ＥＨＳ推進室長（第二開発生産本部ＥＨＳ推進室長）川井正宏
法務部長（法務部 部長代理）高橋善一
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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