(2014年1月1日)
執行役員法務担当、法務・、佐々木健夫
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(2013年12月1日)
インテグレーションマネジメントオフィスリーダー、浜島雅彦
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(2013年10月1日)
プロダクトセールス一、エッチングシステムマーケティング・、和久井勇
プロダクトセールス二（ＲＬＳＡエッチャー営業）水杉一史
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(2013年7月1日)
副社長倫理・製造・技術・システム開発本部・ＩＴ担当（代表取締役兼専務執行役員）生産本部長、北山博文
ＳＰＥマーケティング・プロセス開発本部副本部長（ＳＰＥマーケティング本部長）ＳＰＥマーケティング・、関口章久
ＰＶＥ本部副本部長（ＰＶＥ開発）松永大輔
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(2013年6月21日)
取締役、執行役員、堀哲朗
監査役、ジェコス監査役、赤石幹雄
同、富士重工業監査役、山本高稔
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(2013年4月4日)
会長兼社長兼ＣＥＯ（会長）東哲郎（ひがしてつろう）
取締役（社長兼ＣＥＯ）竹中博司
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(2013年4月1日)
執行役員システム開発本部副本部長兼システム開発センター長（東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ社長）田原計志
同ＴＥＬテクノロジーセンター仙台担当兼ＴＥＬテクノロジーセンター仙台センター長（東京エレクトロン技術研究所社長）川上聡
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(2013年2月1日)
東京エレクトロンコリア代表理事社長（執行役員ＥＳＢＵＧＭ兼東京エレクトロン宮城取締役）取締役、堤秀介
ＥＳＢＵＧＭ（欧米営業本部長）取締役兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長、伊東晃
ＥＳＢＵ副ＢＵＧＭ（３ＤＩ本部長）執行役員、三田野好伸
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(2013年2月1日)
有機ＥＬプロジェクト（有機ＥＬ本部副本部長）執行役員ＦＰＤＢＵＧＭ、松浦次彦
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(2013年1月1日)
ＣＳＲ推進担当、執行役員人事兼人材開発センター長、長久保達也
クリーントラック営業（クリーントラック営業第二）秋山啓一
フィールドソリューション第一（フィールドソリューション）神永文彦
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(2012年10月1日)
東京エレクトロン昆山董事、取締役兼専務執行役員、鷲野憲治
顧問（東京エレクトロン上海ロジスティックセンター董事長兼東京エレクトロン昆山董事）小野里充
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(2012年10月1日)
ＭＲＡＭプロジェクト準備室長（開発企画室長）塚本雄二
開発企画室長（新事業企画室長）山口光行
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(2012年6月22日)
監査役、東京エレクトロンＢＰ会長、森章次郎
同、酒井竜児
退任（取締役）岩津春生
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(2012年6月22日)
監査役（東京エレクトロンＢＰ会長）森章次郎
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(2012年4月1日)
有機ＥＬ・ＦＰＤ・ＰＶＥ担当、取締役兼専務執行役員、鷲野憲治
東京エレクトロンシンガポールディレクター、同兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長兼欧米営業本部長、伊東晃
同、同兼執行役員コーポレート管理副本部長、原田芳輝
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(2012年4月1日)
経理／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンエージェンシー取締役、取締役兼執行役員コーポレート管理本部副本部長、原田芳輝
ＰＶＥ統合プロジェクト推進室長、常務執行役員ＰＶＥ本部長、伊藤高司
ＰＶＥ統合プロジェクト推進担当（経理／財務／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンＢＰ取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役兼ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター兼ＴＥＬエピオンディレクター）執行役員、七沢豊
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(2012年2月1日)
経営戦略室長、執行役員知的財産・、堀哲朗
総務（経営戦略室長）前島裕紀
東京エレクトロン九州執行役員（総務）伊吹方志
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(2012年1月1日)
物流管理（監査室長）小見英彰
監査室長（財務）河合信郎
財務、田中弘毅
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(2011年10月1日)
ＲＬＳＡ、執行役員ＲＬＳＡ本部長、大久保豪
ＲＬＳＡエッチャー営業（ＲＬＳＡ）水杉一史
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