(2014年4月1日)
執行役員ＳＰＥ営業統括副本部長（ＳＰＥ営業統括本部長代理）欧米営業本部長、堀井義明
顧問（常務執行役員ＳＰＥ営業統括副本部長兼トウキョウエレクトロンシャンハイ副董事長兼トウキョウエレクトロンシャンハイロジスティクスセンター副董事長）山口千明
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(2014年4月1日)
ＰＶＥ本部長兼ＰＶＥ営業（ＦＰＤ営業本部長）執行役員、笹原信一
ＦＰＤ営業本部長、執行役員ＦＰＤＢＵＧＭ兼有機ＥＬプロジェクト・、松浦次彦
ＰＶＥ技術（ＰＶＥ開発）林博昭
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(2014年3月1日)
執行役員ＰＶＥ本部長（専務執行役員）取締役、鷲野憲治
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(2014年2月1日)
ＣＳＲ推進担当、副社長生産本部長、北山博文
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(2014年1月1日)
執行役員法務担当、法務・、佐々木健夫
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(2013年12月1日)
インテグレーションマネジメントオフィスリーダー、浜島雅彦
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(2013年10月1日)
プロダクトセールス一、エッチングシステムマーケティング・、和久井勇
プロダクトセールス二（ＲＬＳＡエッチャー営業）水杉一史
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(2013年7月1日)
副社長倫理・製造・技術・システム開発本部・ＩＴ担当（代表取締役兼専務執行役員）生産本部長、北山博文
ＳＰＥマーケティング・プロセス開発本部副本部長（ＳＰＥマーケティング本部長）ＳＰＥマーケティング・、関口章久
ＰＶＥ本部副本部長（ＰＶＥ開発）松永大輔
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(2013年6月21日)
取締役、執行役員、堀哲朗
監査役、ジェコス監査役、赤石幹雄
同、富士重工業監査役、山本高稔
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(2013年4月4日)
会長兼社長兼ＣＥＯ（会長）東哲郎（ひがしてつろう）
取締役（社長兼ＣＥＯ）竹中博司
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(2013年4月1日)
執行役員システム開発本部副本部長兼システム開発センター長（東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ社長）田原計志
同ＴＥＬテクノロジーセンター仙台担当兼ＴＥＬテクノロジーセンター仙台センター長（東京エレクトロン技術研究所社長）川上聡
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(2013年2月1日)
東京エレクトロンコリア代表理事社長（執行役員ＥＳＢＵＧＭ兼東京エレクトロン宮城取締役）取締役、堤秀介
ＥＳＢＵＧＭ（欧米営業本部長）取締役兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長、伊東晃
ＥＳＢＵ副ＢＵＧＭ（３ＤＩ本部長）執行役員、三田野好伸
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(2013年2月1日)
有機ＥＬプロジェクト（有機ＥＬ本部副本部長）執行役員ＦＰＤＢＵＧＭ、松浦次彦
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(2013年1月1日)
ＣＳＲ推進担当、執行役員人事兼人材開発センター長、長久保達也
クリーントラック営業（クリーントラック営業第二）秋山啓一
フィールドソリューション第一（フィールドソリューション）神永文彦
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(2012年10月1日)
東京エレクトロン昆山董事、取締役兼専務執行役員、鷲野憲治
顧問（東京エレクトロン上海ロジスティックセンター董事長兼東京エレクトロン昆山董事）小野里充
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(2012年10月1日)
ＭＲＡＭプロジェクト準備室長（開発企画室長）塚本雄二
開発企画室長（新事業企画室長）山口光行
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(2012年6月22日)
監査役、東京エレクトロンＢＰ会長、森章次郎
同、酒井竜児
退任（取締役）岩津春生
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(2012年6月22日)
監査役（東京エレクトロンＢＰ会長）森章次郎
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(2012年4月1日)
有機ＥＬ・ＦＰＤ・ＰＶＥ担当、取締役兼専務執行役員、鷲野憲治
東京エレクトロンシンガポールディレクター、同兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長兼欧米営業本部長、伊東晃
同、同兼執行役員コーポレート管理副本部長、原田芳輝
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(2012年4月1日)
経理／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンエージェンシー取締役、取締役兼執行役員コーポレート管理本部副本部長、原田芳輝
ＰＶＥ統合プロジェクト推進室長、常務執行役員ＰＶＥ本部長、伊藤高司
ＰＶＥ統合プロジェクト推進担当（経理／財務／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンＢＰ取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役兼ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター兼ＴＥＬエピオンディレクター）執行役員、七沢豊
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