(2015年7月1日)
プロダクトセールス一部部長（プロダクトセールス一部 部長代理）神原弘光
エッチングシステムマーケティング部部長（エッチングシステムマーケティング部 部長代理）樋口公博
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(2015年6月30日)
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(2015年6月19日)
取締役、鄭基市
同、飽本正巳
同、佐々木貞夫
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(2015年6月19日)
会長（副会長兼執行役員ＣｏｒｐｏｒａｔｅＳｔｒａｔｅｇｙ・ＩＲ担当）常石哲男
社長（会長兼社長）ＣＥＯ、東哲郎
副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長（執行役員ＳＰＳＢＵＧＭ）河合利樹
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(2015年6月19日)
ＴＥＬベンチャーキャピタル会長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼ＴＥＬエピオン取締役兼ＴＥＬネックス取締役兼ＴＥＬソーラーホールディング取締役兼ＴＥＬソーラーＩＰ取締役兼東京エレクトロンコリア理事兼東京エレクトロン台湾董事兼東京エレクトロン上海董事（ＴＥＬＦＳＩシンガポール取締役兼ＴＥＬＦＳＩ上海董事兼ＴＥＬＦＳＩ台湾董事兼ＴＥＬＦＳＩコリア取締役）副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長、河合利樹
東京エレクトロン台湾董事、取締役兼専務執行役員グローバル・フィールド統括本部長、伊東晃
東京エレクトロンヨーロッパ会長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役（ＴＥＬベンチャーキャピタル会長兼ＴＥＬソーラーホールディング会長兼ＴＥＬソーラー会長兼ＴＥＬソーラーＩＰ取締役兼ＴＥＬソーラーラボ取締役兼ＴＥＬレーザーシステムズマネージングダイレクター兼ＴＥＬソーラーシンガポール取締役兼ＴＥＬソーラーＵＳ取締役兼ＴＥＬソーラー台湾董事長兼ＴＥＬソーラー上海董事長兼東京エレクトロン昆山董事）取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長、鷲野憲治
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(2015年6月18日)
ＴＥＬソーラーＩＰ取締役（ＴＥＬソーラー取締役）副社長開発・製造統括本部長兼生産本部長、北山博文
ＴＥＬエピオン取締役、取締役兼常務執行役員開発・製造統括本部副本部長兼ＳＰＥ開発本部副本部長、佐々木貞夫
ＴＥＬネックス取締役兼ＴＥＬＦＳＩ取締役、同兼常務執行役員開発・製造統括本部副本部長、飽本正巳
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(2015年6月17日)
輸出・物流管理、河田伸幸
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(2015年6月1日)
サーマルプロセスシステムマーケティング、中谷茂樹
東京エレクトロン東北に出向（サーマルプロセスシステムマーケティング）石田博之
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(2015年4月1日)
ＥＨＳ推進室長、川井正宏
品質推進室長、手島欣親
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(2015年4月1日)
知的財産、佐久間健
欧米営業本部長、中野洋
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(2015年3月1日)
ＭＲＡＭプロジェクト、八木靖司
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(2015年1月1日)
エッチングシステムマーケティング兼プロダクトセールス一、執行役員ＥＳ副ＢＵＧＭ、三田野好伸
東京エレクトロン宮城執行役員（エッチングシステムマーケティング兼プロダクトセールス一）和久井勇
コーポレート管理本部付担当部長（人事兼人材開発センター長）川本弘
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(2014年10月11日)
ＴＥＬＦＳＩプレジデント、取締役兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長兼ＥＳＢＵＧＭ、伊東晃
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(2014年10月1日)
ＰＶＥ担当（ＰＶＥ本部長兼ＰＶＥ営業）執行役員、笹原信一
コーポレートブランド推進室長兼ＣＳＲ推進室長、執行役員、長久保達也
ＰＶＥ、郡宗一郎
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(2014年8月1日)
サーマルプロセスシステム営業一、水上幸治
サーマルプロセスシステム営業二（サーマルプロセスシステム営業）高村義雄
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(2014年7月1日)
東京エレクトロンアメリカチェアマン兼東京エレクトロンヨーロッパチェアマン、副会長、常石哲男
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(2014年7月1日)
商品企画、執行役員ＳＤＢＵＧＭ、大久保豪
３ＤＩ（ＦＰＤ事業戦略室長）八巻郁郎
ＦＰＤシステム企画、石田寛
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(2014年7月1日)
ＡＴＳマーケティング、佐藤陽平
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(2014年6月)
顧問（取締役）佐藤潔
同（同）松岡孝明
退任（監査役）吉田光孝
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(2014年5月1日)
ＴＥＬベンチャーキャピタルボードオブディレクター、常務執行役員、保坂重敏
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