(2017年6月1日)
取締役第一開発生産本部長（代表取締役開発・生産本部長兼製品開発部門担当）専務執行役員、佐々木貞夫
専務執行役員第二開発生産本部長、取締役、北山博文
同第三開発生産本部長（常務執行役員開発・生産本部開発副本部長）取締役、飽本正巳
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(2017年5月1日)
人事部長、土井信人
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(2017年4月1日)
監査センター長（東京エレクトロン九州執行役員）伊吹方志
東京エレクトロン健康保険組合常務理事兼東京エレクトロン企業年金基金常務理事（監査センター長）犬塚勇
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(2017年4月1日)
開発・生産本部開発戦略部長（開発企画部長）瀬川澄江
開発・生産本部コーポレート技術マーケティング部長（東京エレクトロン九州統括部長兼プロセス技術部長）山口忠之
開発・生産本部革新技術企画室長（開発・生産本部 革新技術企画室室長代理）岩渕勝彦
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(2017年1月1日)
事業本部副本部長、常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ、池田（楊）世崇
塗布・洗浄副ＢＵＧＭ、クリーントラック営業部長・、秋山啓一
塗布・洗浄副ＢＵＧＭ、 東京エレクトロン九州常務執行役員、林伸一
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(2016年12月1日)
（TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.ChairmanoftheBoard）代表取締役社長・CEO事業本部長TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.MemberoftheBoard、河合利樹
TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.ChairmanoftheBoard（TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.President,MemberoftheBoard）常務執行役員・グローバル戦略担当・TokyoElectronAmerica,Inc.MemberoftheBoardTELTechnologyCenter,America,LLCManagerTELVentureCapital,Inc.MemberoftheBoardTELEpionInc.MemberoftheBoardTELNEXX,Inc.MemberoftheBoardTELFSI,Inc.MemberoftheBoard、バリー・メイヤー＝BarryMayerr
TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.President,MemberoftheBoard、TokyoElectronAmerica,Inc.President,MemberoftheBoard、ラリー・スミス＝LarrySmith
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(2016年12月1日)
開発・生産本部生産副本部長兼東京エレクトロン九州常務執行役員（東京エレクトロン九州執行役員）立山清久
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(2016年10月1日)
ＩＴ本部長（ＩＴ本部副本部長）執行役員、七沢豊
顧問（執行役員ＩＴ本部長）小泉恵資
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(2016年8月1日)
ＦＳＢＵグローバルサービス担当兼東京エレクトロンＦＥ社長、常務執行役員グローバル・フィールド本部統括本部長、堤秀介
東京エレクトロンFE・社長付理事・東京エレクトロングローバル・フィールド本部委嘱（執行役員・グローバル・フィールド本部統括副本部長・生産担当コーポレート安全担当・FSBU委嘱グローバルサービス担当東京エレクトロンFE代表取締役社長・TokyoElectronIndiaPrivateLtd.MemberoftheBoard）佐々木隆雄
TokyoElectronIndiaPrivateLtd.MemberoftheBoard（代表取締役内部統制担当取締役専務執行役員コーポレート管理本部長経理・財務・知的財産担当、経営戦略担当、IR担当、コンプライアンス・内部統制担当）、堀哲朗
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
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(2016年7月1日)
開発・生産本部アカウントテクノロジー部長兼グローバルＲ＆Ｄ部長（ＢＵプロジェクト部長兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング部長）執行役員、関口章久
開発・生産本部コーポレートプロジェクト部長、執行役員、西垣寿彦
開発・生産本部戦略推進部長（開発企画室長）山口光行
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(2016年6月17日)
取締役、アメリカンファミリー生命保険日本における代表者兼会長、チャールズ・ディトーマス・レイク二世
常務執行役員ＡＴＳＢＵＧＭ（取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ会長兼ＴＥＬテクノロジーセンターアメリカマネージャー兼ＴＥＬエピオン取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ会長）鷲野憲治
退任（取締役）伊東晃
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(2016年6月17日)
代表取締役兼専務執行役員（取締役兼常務執行役員コーポレート製品開発担当）開発・生産本部長、佐々木貞夫
代表取締役兼専務執行役員（取締役兼常務執行役員）コーポレート管理本部長、堀哲朗
取締役（副社長ＣＳＲ推進・開発生産担当）北山博文
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(2016年6月16日)
東京エレクトロン山梨取締役兼東京エレクトロン九州取締役、常務執行役員ＡＴＳＢＵＧＭ、鷲野憲治
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(2016年4月1日)
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長、取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
顧問（執行役員ＰＶＥ担当兼ＰＶＥ部長）笹原信一
顧問（常務執行役員革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長）保坂重敏
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(2016年4月1日)
ＴＥＬＶｅｎｔｕｒｅＣａｐｉｔａｌＣｈａｉｒｍａｎｏｆｔｈｅＢｏａｒｄ兼ＴＥＬＮＥＸＸＣｈａｉｒｍａｎｏｆｔｈｅＢｏａｒｄ、取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
ＴＥＬＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｅｎｔｅｒＡｍｅｒｉｃａＭａｎａｇｅｒ、執行役員、関口章久
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(2016年3月1日)
ＩＴ本部長（ＩＴ担当）執行役員、小泉恵資
執行役員ＩＴ本部副本部長、TEL Solar Holding AG会長兼TEL Solar Services AG社長、七沢豊
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
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(2016年1月1日)
社長兼ＣＥＯ事業本部長（副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長）河合利樹（かわいとしき）
取締役相談役（社長兼ＣＥＯ）東哲郎
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(2016年1月1日)
開発・生産担当（倫理・品質担当兼開発・製造統括本部長兼生産本部長）副社長、北山博文
代表取締役社長、CEO事業本部長（代表取締役副社長、COO事業推進統括本部長ビジネスユニット本部長）、河合利樹
コーポレート管理本部長兼経理・財務・知的財産担当（ファイナンス・リーガル本部長）取締役兼常務執行役員、堀哲朗
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