(2017年4月1日)
開発・生産本部開発戦略部長（開発企画部長）瀬川澄江
開発・生産本部コーポレート技術マーケティング部長（東京エレクトロン九州統括部長兼プロセス技術部長）山口忠之
開発・生産本部革新技術企画室長（開発・生産本部 革新技術企画室室長代理）岩渕勝彦
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(2017年1月1日)
事業本部副本部長、常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ、池田（楊）世崇
塗布・洗浄副ＢＵＧＭ、クリーントラック営業部長・、秋山啓一
塗布・洗浄副ＢＵＧＭ、 東京エレクトロン九州常務執行役員、林伸一
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(2016年12月1日)
（TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.ChairmanoftheBoard）代表取締役社長・CEO事業本部長TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.MemberoftheBoard、河合利樹
TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.ChairmanoftheBoard（TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.President,MemberoftheBoard）常務執行役員・グローバル戦略担当・TokyoElectronAmerica,Inc.MemberoftheBoardTELTechnologyCenter,America,LLCManagerTELVentureCapital,Inc.MemberoftheBoardTELEpionInc.MemberoftheBoardTELNEXX,Inc.MemberoftheBoardTELFSI,Inc.MemberoftheBoard、バリー・メイヤー＝BarryMayerr
TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.President,MemberoftheBoard、TokyoElectronAmerica,Inc.President,MemberoftheBoard、ラリー・スミス＝LarrySmith
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(2016年12月1日)
開発・生産本部生産副本部長兼東京エレクトロン九州常務執行役員（東京エレクトロン九州執行役員）立山清久
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(2016年10月1日)
ＩＴ本部長（ＩＴ本部副本部長）執行役員、七沢豊
顧問（執行役員ＩＴ本部長）小泉恵資
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(2016年8月1日)
ＦＳＢＵグローバルサービス担当兼東京エレクトロンＦＥ社長、常務執行役員グローバル・フィールド本部統括本部長、堤秀介
東京エレクトロンFE・社長付理事・東京エレクトロングローバル・フィールド本部委嘱（執行役員・グローバル・フィールド本部統括副本部長・生産担当コーポレート安全担当・FSBU委嘱グローバルサービス担当東京エレクトロンFE代表取締役社長・TokyoElectronIndiaPrivateLtd.MemberoftheBoard）佐々木隆雄
TokyoElectronIndiaPrivateLtd.MemberoftheBoard（代表取締役内部統制担当取締役専務執行役員コーポレート管理本部長経理・財務・知的財産担当、経営戦略担当、IR担当、コンプライアンス・内部統制担当）、堀哲朗
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
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(2016年7月1日)
開発・生産本部アカウントテクノロジー部長兼グローバルＲ＆Ｄ部長（ＢＵプロジェクト部長兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング部長）執行役員、関口章久
開発・生産本部コーポレートプロジェクト部長、執行役員、西垣寿彦
開発・生産本部戦略推進部長（開発企画室長）山口光行
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(2016年6月17日)
取締役、アメリカンファミリー生命保険日本における代表者兼会長、チャールズ・ディトーマス・レイク二世
常務執行役員ＡＴＳＢＵＧＭ（取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ会長兼ＴＥＬテクノロジーセンターアメリカマネージャー兼ＴＥＬエピオン取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ会長）鷲野憲治
退任（取締役）伊東晃
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(2016年6月17日)
代表取締役兼専務執行役員（取締役兼常務執行役員コーポレート製品開発担当）開発・生産本部長、佐々木貞夫
代表取締役兼専務執行役員（取締役兼常務執行役員）コーポレート管理本部長、堀哲朗
取締役（副社長ＣＳＲ推進・開発生産担当）北山博文
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(2016年6月16日)
東京エレクトロン山梨取締役兼東京エレクトロン九州取締役、常務執行役員ＡＴＳＢＵＧＭ、鷲野憲治
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(2016年4月1日)
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長、取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
顧問（執行役員ＰＶＥ担当兼ＰＶＥ部長）笹原信一
顧問（常務執行役員革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長）保坂重敏
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(2016年4月1日)
ＴＥＬＶｅｎｔｕｒｅＣａｐｉｔａｌＣｈａｉｒｍａｎｏｆｔｈｅＢｏａｒｄ兼ＴＥＬＮＥＸＸＣｈａｉｒｍａｎｏｆｔｈｅＢｏａｒｄ、取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
ＴＥＬＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｅｎｔｅｒＡｍｅｒｉｃａＭａｎａｇｅｒ、執行役員、関口章久
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(2016年3月1日)
ＩＴ本部長（ＩＴ担当）執行役員、小泉恵資
執行役員ＩＴ本部副本部長、TEL Solar Holding AG会長兼TEL Solar Services AG社長、七沢豊
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
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(2016年1月1日)
社長兼ＣＥＯ事業本部長（副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長）河合利樹（かわいとしき）
取締役相談役（社長兼ＣＥＯ）東哲郎
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(2016年1月1日)
開発・生産担当（倫理・品質担当兼開発・製造統括本部長兼生産本部長）副社長、北山博文
代表取締役社長、CEO事業本部長（代表取締役副社長、COO事業推進統括本部長ビジネスユニット本部長）、河合利樹
コーポレート管理本部長兼経理・財務・知的財産担当（ファイナンス・リーガル本部長）取締役兼常務執行役員、堀哲朗
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(2016年1月1日)
ＣＳＲ推進室長（営業企画管理部部長代理）荻野裕史
（ＣＳＲ推進室長）総務部長、阿曽達也
東京エレクトロン宮城開発部門統括部長（プロダクトマーケティング部長）神原弘光
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(2016年1月1日)
グローバル戦略担当、常務執行役員、バリー・メイヤー
グローバル戦略担当、常務執行役員・欧州リージョン本部長、ディヴィッド・ブラフ
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(2015年12月1日)
ＰＶＥ部長、執行役員・ＰＶＥ担当、笹原信一
東京エレクトロン宮城開発部門統括部長（ＰＶＥ部長）郡宗一郎
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