(2020年10月1日)
ITユニットGM（IT本部長）執行役員業務改革プロジェクトサブリーダー兼業務改革推進二部長、七沢豊
人事総務ユニットGM兼総務部長（人事部長）土井信人
人事部長、河野通尚
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(2020年10月1日)
常務執行役員グローバル戦略担当、ラリー・スミス
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(2020年8月1日)
SPE事業本部長補佐、エッチングシステム事業企画部長、樋口公博
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(2020年7月1日)
IR室長、八田浩一
情報セキュリティ室長、藤井俊郎
Certas戦略企画部長、執行役員ESBUGM、和久井勇
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(2020年6月24日)
東京エレクトロン上海ロジスティックセンター董事、取締役兼常務執行役員GlobalBusinessPlatform統括本部副本部長兼人事・総務・CSR・ブランド本部長兼法務・コンプライアンス本部長、長久保達也
アドバイザー（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ執行役員）中村靖
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(2020年6月23日)
代表取締役（取締役）専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
アドバイザー（執行役員輸出物流管理本部長）佐々木健夫
アドバイザー（執行役員業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）清水正
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(2020年6月23日)
社外監査役、浜正孝
社外監査役、三浦亮太
退任（社外監査役）山本高稔
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(2020年6月1日)
CorporateInnovation本部シニアフェロー、門村新吾
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(2020年4月1日)
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、開発戦略部長、瀬川澄江
チーフ・コンプライアンス・オフィサー、コンプライアンス部長、倉本健
第一開発生産本部PF開発部長、若林真士
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(2020年1月1日)
3DI部長（エッチングシステム営業一部長）阿部将明
エッチングシステム営業一部長（TokyoElectronKoreaGroupLeader）董承憲
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(2019年11月1日)
コンプライアンス部長、倉本健
SPE事業本部長補佐（CorporateInnovation本部副本部長）稲垣直樹
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(2019年10月1日)
GlobalBusinessPlatform統括本部長兼ファイナンス本部長（ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部担当）取締役兼専務執行役員、布川好一
GlobalBusinessPlatform統括本部副本部長兼人事・総務・CSR・ブランド本部長（人事・総務・CSR本部長）取締役兼常務執行役員法務・コンプライアンス本部長、長久保達也
財務部長、経理部長、笹川謙
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(2019年8月1日)
九州支社長、大阪支社長、森川弘教
TEL Technology Center America LLC Chairman、常務執行役員CorporateInnovation本部長代理、堤秀介
Corporate Innovation本部副本部長、TEL Technology Center America LLC Chairman、稲垣 直樹
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(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
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(2019年6月19日)
東京エレクトロンエージェンシー取締役兼東京エレクトロンUSホールディングス取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼東京エレクトロンコリア監事兼東京エレクトロン台湾監事兼東京エレクトロンシンガポール取締役兼東京エレクトロン上海監事兼東京エレクトロン上海ロジスティックセンター監事兼東京エレクトロン昆山監事（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）取締役兼専務執行役員、布川好一
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役兼東京エレクトロンBP監査役、常勤監査役、田原計志
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(2019年6月18日)
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部・内部統制担当、布川好一
チーフ・コンプライアンス・オフィサー兼コンプライアンス部長、法務・コンプライアンス本部副本部長、君嶋祥子
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(2019年6月18日)
第四開発生産本部長兼EHS・品質・調達・生産技術部門担当兼山梨事業所長、取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長、佐々木貞夫
業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトリーダー（業務改革プロジェクト副担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）取締役兼常務執行役員フィールドソリューション事業本部長、春原清
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・内部統制担当（常勤監査役）布川好一
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(2019年6月18日)
取締役（監査役）布川好一
取締役、池田世崇
取締役、三田野好伸
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(2019年4月1日)
財務部長、執行役員ファイナンス本部長、川本弘
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(2019年3月1日)
GlobalSales本部Japan部長（Tokyo Electron Shanghai Ltd.BU Product SalesSales VP）中村裕司
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