(2020年4月1日)
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、開発戦略部長、瀬川澄江
チーフ・コンプライアンス・オフィサー、コンプライアンス部長、倉本健
第一開発生産本部PF開発部長、若林真士
大阪支社長兼GlobalSales本部GM、中村裕司
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(2020年1月1日)
3DI部長（エッチングシステム営業一部長）阿部将明
エッチングシステム営業一部長（TokyoElectronKoreaGroupLeader）董承憲
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(2019年11月1日)
コンプライアンス部長、倉本健
SPE事業本部長補佐（CorporateInnovation本部副本部長）稲垣直樹
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(2019年10月1日)
GlobalBusinessPlatform統括本部長兼ファイナンス本部長（ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部担当）取締役兼専務執行役員、布川好一
GlobalBusinessPlatform統括本部副本部長兼人事・総務・CSR・ブランド本部長（人事・総務・CSR本部長）取締役兼常務執行役員法務・コンプライアンス本部長、長久保達也
財務部長、経理部長、笹川謙
3DI部長（テストシステム部長）ATSBUGM部長、佐藤陽平
テストシステム部長、冨岡伸介
先端データ企画部長、守屋剛
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